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********学院光谱椭偏仪采购项目 | |
项目所在采购意向: | ****2025年8至12月政府采购意向 |
采购单位: | **** |
采购项目名称: | ********学院光谱椭偏仪采购项目 |
预算金额: | 150.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****0304光学测试仪器 |
采购需求概况 : | 光谱椭偏仪1台,主要技术需求:1.光谱范围 370-1000nm 2.光谱测试间隔 1.6nm 3.自动变角基座 45-90度自动变角,变角准确性0.02度,重复性0.01度 4.Z轴 自动移动,最大行程18mm,最小步长1微米 5.光斑尺寸 普通光斑4mm直径,微光斑300微米直径 6.自动平移 200mm(8寸) X/Y (向下兼容) ★7.测量参数 分光椭偏: Ψ:(0-90°) 和 Δ:(0-360°)强度 透射及反射百分比 退偏振 退偏振百分比 广义椭偏: AnE, Asp,和Aps (广义琼斯矩阵的3个量) 穆勒矩阵: 穆勒矩阵的11个归一化元(对m11归一化) ★8.测量时间 单点标准椭偏测量最快0.05秒,典型测量时间为1到5秒 9.测试准确性 在直射状态下,测量空光束 Ψ:45 ± 0.075° Δ: 0 ± 0.05° 10.测量重复性 膜厚测量优于0.005nm(30次SiO2厚度测量的标准偏差,样品为带有自然氧化层的硅片) 11.数据采集及分析软件 5个软件许可,基于Windows系统,超作方便,材料库全、色散模型多、功能强。 ★12.样品温度控制:-150℃-室温 ★13.样品反应器:1L 厂家技术服务需求:1. 仪器及时安装调试,以及仪器操作人员和管理人员的上机前培训; 2. 由厂家提供的长期技术支持方案; 3. 由厂家提供每年定期的用户现场培训; 4. 由厂家提供每年定期的仪器维护和检修。 |
预计采购时间: | 2025-09 |
备注: |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。